本文標(biāo)題："透明導(dǎo)電膜簡介-溶凝膠法制作透明導(dǎo)電"

溶凝膠法制備氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜

以溶膠凝膠法制備透明氧化鋅薄膜，藉由酸堿值之調(diào)整與有

無氧化銦摻雜情況下，合成穩(wěn)定之鍍膜液。而后再旋涂于玻璃基板上，

于不同熱處理溫度下，形成結(jié)晶性的摻銦氧化鋅薄膜

透明導(dǎo)電薄膜越來越受重視，因ZnO薄膜是一種管泛用途的

半導(dǎo)體材料，其性能隨摻雜不同成分和制備條件的不同而變化。薄膜制

備方法不下其數(shù)，其中又以溶膠凝膠法為研究重點(diǎn)之一，此制備方法擁

有制作成本低、成份組成控制容易、制作過程簡單等優(yōu)點(diǎn)。本研究主要

是采用水相系統(tǒng)以溶膠凝膠法藉由酸堿值調(diào)整，制作穩(wěn)定之鍍膜液，再

以不同溫度燒結(jié)下，探討其燒結(jié)溫度對薄膜之影響

以溶凝膠法制作成的透明導(dǎo)電薄膜，在不同處理下玻璃基板的疏水

性不同。在水洗蝕刻15秒時(shí)有良好的疏水性，有助于薄膜旋涂，形成均

勻的透明導(dǎo)電膜。另外，薄膜在不同溫度燒結(jié)下導(dǎo)電率會(huì)不同，而在

650 ℃氬氫退火熱處理時(shí)，具有較低片電阻

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