本文標題："在可見光區的波長600nm到800nm之間透光率可達70%"

熱處理步驟

1.為了避免石英爐管內空氣中雜質的干擾，所以在熱處理前，先以機械幫浦進行真

空處理，以有效提昇熱處理的品質與效果。

2.將涂佈好的試片放入石英爐管中，再重覆上述抽氣動作，期間石英爐管緩慢加

熱，加熱過程中持續抽氣動作以防水氣和雜質干擾試片，隨后將抽氣幫浦關掉，

真空恒溫燒結一小時。

3.真空恒溫燒結一小時過后，再通入氬氣(流量36sccm)加氫氣(流量4sccm)，燒結一

小時后，緩慢降至室溫

1.ZnO薄膜燒結溫度之比較：發現ZnO薄膜（未摻雜）燒結溫度在650℃下具有佳的透光率和片電阻，

往后再以燒結溫度650℃進行摻雜效應之探討。

2. 不同摻雜濃度對透明度之比較：以 UV/VIS光譜儀量測不同

銦的摻雜濃度之透光率，所量測IZO薄膜的透光率，結果如

圖4-3所示，量測光譜波長范圍為200~1100nm。量測結果發現

IZO 薄膜燒結溫度在 650℃ 、銦的摻雜量為 3at % 時，具有

佳的透光率，在可見光區的波長600nm到800nm之間透光率可達70%。

3.不同摻雜濃度對IZO薄膜片電阻系數之比較：以四點探針量測不

同銦的摻雜濃度之IZO薄膜片電阻，如圖4-4所示，在燒結溫度為

650℃下，銦的摻雜濃度為3at%時，量測出來的片電阻系數低

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在可見光區的波長600nm到800nm之間透光率可達70%,熒光顯微鏡現貨供應